肺弥散功能轻度降低，常见的原因有肺泡毛细血管膜增厚，比如各种原因引起来的间质性肺病，有石棉肺、种蘑菇的农民出现的蘑菇肺，还有煤工尘肺等，以及特发性间质性肺炎。结缔组织相关的间质性肺病，比如类风湿性关节炎相关的间质性肺病、干燥综合征相关的间质性肺病，还有结节病等。
还有肺的弥散面积减少，比如重症的肺部感染、肺叶的切除、慢性阻塞性肺疾病、气胸、脊柱侧弯、心衰引起的肺水肿等，能够引起来弥散面积的减少，从而会引起肺弥散功能的轻度减低。还有血红蛋白携氧能力的下降，比如贫血也可以引起来肺弥散功能的轻度下降。
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